Систематизовано матеріали з використання мікроскопії в нанотехнологіях. Наведено основні відомості про засоби інструментальної мікроскопії від оптичної до найбільш сучасної - зондової. Розглянуто перспективи розвитку методів та засобів мікроскопії в прикладних додатках наноінженерії. Наведено відомості про сучасне програмне забезпечення для отримання та обробки результатів мікроскопічних досліджень, а також методологія вимірювань за допомогою мікроскопічної техніки, що розглядає основні методики дослідження мікрорельєфу, поверхневих фізико-механічних і техніко-експлуатаційних властивостей матеріалів та манометричних структур на таких поверхнях, а також їх оптичні, електричні та феромагнітні властивості.